-
ST.CERA Pasadyang kagamitan sa semiconductor Mga seramikong chuck
Ang kritikal na proseso ng semiconductor field ay kailangang isagawa sa malinis na silid, lalo na para sa mga aparatong dapat gamitin sa ilalim ng mga kondisyon ng mataas na temperatura, vacuum, at kinakaing unti-unting gas. Ang mga seramiko ay maaaring mapanatili ang mataas na katatagan sa masalimuot na pisikal at kemikal na kapaligiran.
-
ST.CERA Pasadyang kagamitan sa semiconductor Ceramic plate
Ang kritikal na proseso ng semiconductor field ay kailangang gawin sa malinis na silid, lalo na para sa mga aparatong dapat gamitin sa ilalim ng mga kondisyon ng mataas na temperatura, vacuum, at kinakaing unti-unting gas. Ang mga seramiko ay maaaring mapanatili ang mataas na katatagan sa masalimuot na pisikal at kemikal na kapaligiran.
-
ST.CERA Pasadyang semiconductor na seramikong singsing na pokus
Ang kritikal na proseso ng semiconductor field ay kailangang isagawa sa malinis na silid, lalo na para sa mga aparatong dapat gamitin sa ilalim ng mga kondisyon ng mataas na temperatura, vacuum, at kinakaing unti-unting gas. Ang mga seramiko ay maaaring mapanatili ang mataas na katatagan sa masalimuot na pisikal at kemikal na kapaligiran.
-
ST.CERA Pasadyang 99.5% Alumina Ceramic Loader Arm
Ang Ceramic End Effector / Handling Arm ay nakakabit sa wafer handling robot o "end effectors" at ginagamit upang magdala ng mga silicon wafer papasok o palabas ng mga cassette o process chamber.
Ang mga benepisyo ng paggamit ng mga seramiko ay ang pagbawas ng pagpapalihis dahil sa mataas na lakas ng pagbaluktot, resistensya sa mataas na temperatura, at pag-aalis ng kontaminasyon at mga partikulo ng metal. -
ST.CERA Pasadyang Alumina Ceramic End Effector
Nag-aalok ang ST.CERA ng ESD coating at ESD ceramic material na End Effector. Ginawa mula sa high-purity alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng cold isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃.
-
ST.CERA Pasadyang Semiconductor Ceramic Focus Ring
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan (higit sa 99.5%) alumina ceramic, nabuo sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing at sininter sa ilalim ng mataas na temperatura, pagkatapos ay precision machined at pinakintab, ang mga ceramic spare parts ay maaaring matugunan ang anumang mahigpit na kinakailangan ng kagamitang semiconductor dahil sa mga tampok nito ng wear resistance, corrosion resistance, mababang thermal expansion, at insulation.
Taglay ang mga katangiang tulad ng mataas na temperaturang resistensya, kalawang, abrasion at insulasyon, ang seramiko ay maaaring gamitin sa maraming uri ng kagamitan sa produksyon ng semiconductor na may kondisyong mataas ang temperatura, vacuum o kinakaing unti-unting gas sa loob ng mahabang panahon.
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃.
-
ST.CERA Pasadyang Semiconductor Precision Alumina Ceramic Bushing
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan (higit sa 99.5%) alumina ceramic, nabuo sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing at sininter sa ilalim ng mataas na temperatura, pagkatapos ay precision machined at pinakintab, ang mga ceramic spare parts ay maaaring matugunan ang anumang mahigpit na kinakailangan ng kagamitang semiconductor dahil sa mga tampok nito ng wear resistance, corrosion resistance, mababang thermal expansion, at insulation.
Taglay ang mga katangiang tulad ng mataas na temperaturang resistensya, kalawang, abrasion at insulasyon, ang seramiko ay maaaring gamitin sa maraming uri ng kagamitan sa produksyon ng semiconductor na may kondisyong mataas ang temperatura, vacuum o kinakaing unti-unting gas sa loob ng mahabang panahon.
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃.
-
ST.CERA Pasadyang Alumina Ceramic Vacuum End Effector
Ito ay isang tray-type na ceramic End Effector / Handling Arm na ginagamit sa ilalim ng kondisyong vacuum.
Ang Ceramic End Effector / Handling Arm ay "mas matibay sa init", "hindi gaanong nakakapaglihis", at "mas magaan" kumpara sa mga metal.
Taglay ang mga katangiang tulad ng mataas na temperaturang resistensya, kalawang, abrasion at insulasyon, ang seramiko ay maaaring gamitin sa maraming uri ng kagamitan sa produksyon ng semiconductor na may kondisyong mataas ang temperatura, vacuum o kinakaing unti-unting gas sa loob ng mahabang panahon.
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃.
-
Mga Pasadyang 99.5% Alumina Ceramic Tubes at Ceramic Rods ng ST.CERA
Taglay ang mga katangiang tulad ng mataas na temperaturang resistensya, kalawang, abrasion at insulasyon, ang seramiko ay maaaring gamitin sa maraming uri ng kagamitan sa produksyon ng semiconductor na may kondisyong mataas ang temperatura, vacuum o kinakaing unti-unting gas sa loob ng mahabang panahon.
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃.
-
ST.CERA Customized Alumina Ceramic End Effector Wafer Handling
Nag-aalok ang ST.CERA ng ESD coating at ESD ceramic material na End Effector / Handling Arm na may built-in na hollow channel. Espesyalista kami sa isang pamamaraan na bumubuo ng vacuum air channel sa loob ng isang piraso ng materyal nang hindi gumagamit ng adhesive.
Walang panganib ng kontaminante, paglabas ng gas, o mga partikulo. Ang vacuum End Effector / Handling Arm ng ST.CERA na may espesyal na teknolohiya ng patong ay electrical insulated. Maaari rin kaming magbigay ng ESD ceramic material na electrical insulated nang walang anumang patong.
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃. -
Mga Bahagi ng Kagamitan para sa Alumina Ceramic End Effector Semiconductor
Pigilan ang mga particle na maaaring mabuo mula sa bevel o angled na mga gilid at sa likod na ibabaw habang dinadala ang mga wafer o nakadikit sa End Effector / Handling Arm.
Para sa mga gabay, gumamit ng malambot na materyal na hindi nakakasira sa wafer.
Posible ang pagnipis gamit ang built-in na vacuum channel technology ng ST.CERA na hindi gumagamit ng mga pandikit.
Posibleng gumawa ng mga butas para sa pagkakabit at baguhin ang haba at lapad ng base kung saan nakakabit ang End Effector / Handling Arm sa robot.
May mga opsyon na makakabit na sensor, turnilyo, at bracket.
Dinisenyo para gamitin sa atmospera.
-
Pasadyang CNC Machining ng St.Cera Cera Ceramic End Effector
Nag-aalok ang ST.CERA ng vacuum ceramic End Effector / Handling Arm na may built-in na hollow channel. Espesyalista kami sa isang pamamaraan na bumubuo ng vacuum air channel sa loob ng isang piraso ng materyal nang hindi gumagamit ng pandikit.
Walang panganib ng kontaminante, paglabas ng gas, o mga partikulo. Ang vacuum End Effector / Handling Arm ng ST.CERA na may built-in na channel ay matibay at maaaring gamitin sa mataas na temperatura. Bukod dito, ang aming gastos sa paggawa ay maaaring mabawasan sa pamamagitan ng pag-aalis ng hindi kinakailangang pag-assemble.
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃.
