page_banner

ST.CERA Pasadyang 99.5% Alumina Ceramic Loader Arm

ST.CERA Pasadyang 99.5% Alumina Ceramic Loader Arm

Maikling Paglalarawan:

Ang Ceramic End Effector / Handling Arm ay nakakabit sa wafer handling robot o "end effectors" at ginagamit upang magdala ng mga silicon wafer papasok o palabas ng mga cassette o process chamber.
Ang mga benepisyo ng paggamit ng mga seramiko ay ang pagbawas ng pagpapalihis dahil sa mataas na lakas ng pagbaluktot, resistensya sa mataas na temperatura, at pag-aalis ng kontaminasyon at mga partikulo ng metal.


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Mga Detalye ng Produkto

Taglay ang mga katangiang tulad ng mataas na temperaturang resistensya, kalawang, abrasion at insulasyon, ang seramiko ay maaaring gamitin sa maraming uri ng kagamitan sa produksyon ng semiconductor na may kondisyong mataas ang temperatura, vacuum o kinakaing unti-unting gas sa loob ng mahabang panahon.

Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, mataas na temperaturang sintering at katumpakan na pagtatapos, ang ceramic End Effector ay maaaring umabot sa tolerance ng dimensyon na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at resistensya sa temperatura na 1600℃.

Ang ceramic End Effector na may cavity ay kayang gumana sa mataas na temperaturang 800℃ dahil sa natatanging teknolohiya ng ceramic bonding.

Narito ang mga katangian ng alumina ceramic na may iba't ibang kadalisayan.

mga parametro ng produkto

logo

ST.CERA CO., LTD.

Papel ng Datos ng Materyal

Mga Ari-arian Yunit Alumina (Al2O3)
99% Al2O3 99.5% Al2O3 99.8% Al2O3 99.9% Al2O3
Kulay Puti Garing Garing Garing
Densidad g/cm3 3.88 3.90 3.93 3.95
Pagsipsip ng Tubig % 0 0 0 0
Laki ng Butil μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Lakas ng Pagbaluktot MPa 350 360 361 350
Katigasan ng Bali MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Katigasan ng Vickers GPa 14 15.5 16 16
Modulus ng Elastikong Young GPa 370 370 380 390
Konduktibidad ng Termal W/m·k 28 32 32 34
Koepisyent ng Pagpapalawak ng Thermal 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielectric Constant 9.5 9.6 9.6 9.9
Anggulo ng Pagkawala ng Dielectric 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001
Lakas ng Dielektriko V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Tiyak na Paglaban Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Proseso ng produksyon

Spray Granulation → ceramic powder → Forming → Blank Sintering → Magaspang na paggiling → CNC Machining → Pinong paggiling → Inspeksyon ng Dimensyon → Paglilinis ng Pag-iimpake

Mga mahahalagang detalye

Lugar ng Pinagmulan: Hunan, Tsina
Materyal: Alumina Seramik
Kodigo ng HS: 85471000
Kakayahang Magtustos: 100 piraso bawat buwan
Oras ng paghihintay: 3-4 na linggo
Pakete: Kahon na may corrugation, foam, karton
Iba pa: May serbisyo sa pagpapasadya


  • Nakaraan:
  • Susunod: