Ginawa mula sa mataas na kadalisayan (higit sa 99.5%) alumina ceramic, nabuo sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing at sininter sa ilalim ng mataas na temperatura, pagkatapos ay precision machined at pinakintab, ang mga ceramic spare parts ay maaaring matugunan ang anumang mahigpit na kinakailangan ng kagamitang semiconductor dahil sa mga tampok nito ng wear resistance, corrosion resistance, mababang thermal expansion, at insulation.
Taglay ang mga katangiang tulad ng mataas na temperaturang resistensya, kalawang, abrasion at insulasyon, ang seramiko ay maaaring gamitin sa maraming uri ng kagamitan sa produksyon ng semiconductor na may kondisyong mataas ang temperatura, vacuum o kinakaing unti-unting gas sa loob ng mahabang panahon.
Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na alumina powder, pinoproseso sa pamamagitan ng malamig na isostatic pressing, high temperature sintering at precision finishing, maaari itong umabot sa dimension tolerance na ±0.001 mm, surface finish Ra 0.1, at temperature resistance na 1600℃.