Mataas na Kadalisayan na Alumina Ceramic End Effector para sa mga Robot sa Paghawak ng Wafer
Ang alumina ceramic end effector ng St.Cera ay precision machined mula sa 99.8% high-purity Al₂O₃ gamit ang advanced 5-axis CNC grinding equipment. Kabilang sa aming mga kakayahan sa pagmamanupaktura ang mga precision grinding machine at CNC machining center, na nagbibigay-daan sa mga kumplikadong geometry na may mataas na precision. Nagtatampok ang end effector ng manipis na profile (kasing nipis ng 1.5 mm) na may tapered leading edge para sa makinis na pagpasok ng wafer. Ang materyal ay nagbibigay ng mataas na stiffness (Young's modulus 380 GPa), mahusay na wear resistance, at thermal stability hanggang 800°C. Ang bawat unit ay precision grind upang makamit ang flatness na 0.003mm, parallelism na 0.002mm, at surface finish na Ra0.1, na tinitiyak ang pare-parehong wafer contact at particle-free na operasyon sa mga semiconductor FAB environment. Makukuha sa haba mula 150 mm hanggang 450 mm, na may custom tip geometries (edge grip, Bernoulli, flat) at mounting flanges upang magkasya sa mga OEM robot. Kabilang sa mga opsyon sa surface finish ang lapped, polished, o ESD dissipative coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Mga detalye (batay sa 99.8% Al₂O₃& mga kakayahan sa pagmamanupaktura ng St.Cera):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Pagkapatag | 0.003mm |
| Paralelismo | 0.002mm |
| Tapos na Ibabaw | Ra0.1 (pinahiran/pinakintab) |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 800°C |
| Saklaw ng Haba | 150–450 milimetro |
Mga Aplikasyon:
- · Paglilipat ng wafer sa mga robot na vacuum at atmospheric
- · Mga FAB automation end effector para sa 200mm/300mm wafer
- · Paghawak ng manipis na wafer (may opsyon na ESD)
Mga Kakayahan sa Paggawa:
Ang aming mga precision grinding machine at CNC machining center ay nagbibigay-daan sa produksyon ng mga kumplikadong ceramic component gamit ang:
- · Pinakamataas na haba ng pagma-machining: 1500mm
- · Pinakamataas na panlabas na diyametro: 600mm
- · Pinakamababang panloob na diyametro: 0.2mm
- · Pinakamataas na kapal: 100mm
Kontrol sa Kalidad:
Tuwid na 0.005mm, perpendikular na 0.005mm, bilog na 0.002mm, paralelismo 0.002mm, konsentrisidad 0.01mm na beripikado ng CMM. Ang bawat unit ay nililinis gamit ang ultrasonic at nakabalot sa Class 100 cleanroom.
