Teflon Coated Ceramic End Effector – Hindi Dumidikit na Ibabaw para sa Sensitibong Paghawak ng Wafer
Pinagsasama ng Teflon (PTFE) coated ceramic end effector ng St.Cera ang isang high-strength alumina substrate na may pare-pareho at low-friction PTFE coating (kapal na 15–30 μm). Ang coating ay nagbibigay ng napakababang coefficient of friction (≤0.1), mahusay na chemical resistance, at mga non-stick properties, na pumipigil sa pagdikit ng wafer at nag-aalis ng kontaminasyon sa likuran. Ang pinagbabatayang ceramic substrate (99.8% Al₂O₃) ay nag-aalok ng mataas na flexural strength (361–1000 MPa), wear resistance, at thermal stability hanggang 260°C (coating limit). Ang end effector na ito ay mainam para sa paghawak ng mga delikado, manipis, o malagkit na wafer (hal., pagkatapos ng photoresist coating o mga prosesong kemikal).
Mga detalye (batay sa 99.8% Al₂O₃ substrate na may PTFE coating):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal na Substrate | 99.8% Alumina (Garing) |
| Materyal na Patong | PTFE (Teflon) |
| Kapal ng Patong | 15–30 μm |
| Koepisyent ng Friction (Pinahiran) | ≤0.1 |
| Lakas ng Pagbaluktot ng Substrate (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Katigasan ng Substrate (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Densidad ng Substrate | 3.93 g/cm³ |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon (limitasyon ng patong) | 260°C |
| Kagaspangan ng Ibabaw (bago ang patong) | Ra ≤0.4 μm |
| Lakas ng Dielectric (substrate) | 15×10⁶ V/m |
Paalala: Nililimitahan ng PTFE coating ang pinakamataas na temperatura sa 260°C; para sa mga aplikasyon na may mas mataas na temperatura, isaalang-alang ang uncoated ceramic o iba pang coatings.
Mga Aplikasyon:
- · Paghawak ng mga wafer pagkatapos ng photoresist coating (mga malagkit na ibabaw)
- · Paglilipat ng manipis o marupok na mga wafer (pinipigilan ang pagdikit)
- · Mga kagamitan sa inspeksyon at metrolohiya ng semikonduktor
- · Awtomasyon sa paglilinis ng silid kung saan dapat mabawasan ang kontaminasyon ng partikulo
Proseso ng Paggawa:
Sintered na seramikong substrate at precision ground → surface roughening (plasma etch o grit blast) → PTFE spray coating → heat curing sa 380°C → pangwakas na inspeksyon. Ang bawat end effector ay sinusuri para sa kapal ng coating (eddy current), adhesion (cross-cut test ASTM D3359), at coefficient of friction.
Kontrol sa Kalidad:
100% biswal na inspeksyon para sa mga butas-butas o bula; pagkakapareho ng kapal ng patong sa loob ng ±5 μm; walang delamination pagkatapos ng 90° bend test sa witness coupon. Pagsusuri ng dimensyon ayon sa OEM tolerance (haba ±0.05 mm, flatness ≤0.1 mm).
Mga Kalamangan kumpara sa Uncoated o Iba Pang Coatings:
- · Pinipigilan ng hindi dumidikit na ibabaw ang pagdikit at pagkabasag ng wafer
- · Pinakamababang koepisyent ng friction sa mga ceramic coatings
- · Napakahusay na resistensya sa kemikal (mga asido, base, solvent)
- · Binabawasan ang pagbuo ng particle sa pamamagitan ng pagpigil sa paglipat ng materyal
Mga Limitasyon (mga tala sa materyal na paglihis):
Ang PTFE coating ay hindi nagmula sa ibinigay na mga talahanayan ng katangian ng materyal (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Ang mga katangian ng substrate ay mahigpit na sumusunod sa ibinigay na datasheet (99.8% Al₂O₃). Ang mga katangian ng patong ay batay sa mga pamantayan ng PTFE sa industriya, dahil walang ibinigay na datos ng patong. Para sa mga aplikasyon na higit sa 260°C, inirerekomenda ang isang uncoated ceramic end effector.*
Pagpapasadya:
Makukuha sa haba na 150–1500 mm, hugis ng dulo (gilid ng pagkakahawak, Bernoulli, patag), mga pattern ng mounting flange ayon sa OEM drawing. Opsyonal ang bahagyang patong (mga lugar na may kontak lamang) o buong saklaw.
Humingi ng sample para sa pagsubok sa adhesion at friction.
