Alumina Vacuum Chuck para sa Precision Dicing at Grinding
Ang alumina vacuum chuck ng St.Cera ay gawa mula sa 99.8% high-purity Al₂O₃ na may mga precision-machined vacuum grooves. Ang aming precision grinding capability ay nakakamit ng flatness na 0.003mm at parallelism na 0.002mm, na tinitiyak ang warp-free wafer fixation habang dicing, backside grinding, at inspeksyon. Ang materyal ay nag-aalok ng mataas na flexural strength (361 MPa), hardness (16 GPa), at thermal stability hanggang 800°C. Makukuha sa mga bilog na format na hanggang 600mm outer diameter (OD) at mga parihabang hugis na hanggang 1500mm ang haba. Ang mga vacuum grooves ay custom-designed (concentric, radial, o grid patterns) upang umangkop sa mga partikular na kinakailangan sa proseso. Ang bawat chuck ay sinisiyasat gamit ang laser interferometer at binibigyan ng ulat ng flatness verification.
Mga detalye (batay sa 99.8% Al₂O₃& mga kakayahan sa pagmamanupaktura ng St.Cera):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Panlabas na Diametro (maximum) | 600mm |
| Kapal (max) | 100mm |
| Haba (maximum) | 1500mm |
| Pagkapatag | 0.003mm |
| Paralelismo | 0.002mm |
| Tapos na Ibabaw | Ra0.1 |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 800°C |
Mga Aplikasyon:
- · Paghiwa at pag-ukit ng wafer (200mm/300mm at mas malaki)
- · Paggiling sa likuran ng manipis na mga wafer
- · Inspeksyon at pagsusuri sa optika
- · Malaking paghawak sa substrate
Katumpakan ng Paggawa:
- · Tuwid: 0.005mm
- · Perpendikularidad: 0.005mm
- · Pagiging Bilog: 0.002mm
- · Konsentriko: 0.01mm
