Alumina-Based Standard Vacuum Chuck – Mataas na Rigidity para sa Precision Machining
Ang alumina-based vacuum chuck na ito ay gawa sa 99.8% Al₂O₃, na nag-aalok ng makinis at hindi porous na ibabaw na may mga custom na vacuum groove pattern. Nagbibigay ito ng pambihirang tigas (Young's modulus 380 GPa) at pagiging patag (≤3 μm), kaya mainam ito para sa precision grinding, lapping, at dicing ng mga semiconductor wafer at optical component. Tinitiyak ng mataas na thermal conductivity ng materyal (32 W/m·k) ang pagkakapare-pareho ng temperatura habang pinoproseso.
Mga detalye(batay sa 99.8% Al₂O₃):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Konduktibidad ng Termal | 32 W/m·k |
| Pagkapatag | ≤3 μm (mahigit sa 200mm) |
| Kagaspangan ng Ibabaw (gilid ng chuck) | Ra ≤0.4 μm |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 800°C |
Mga Aplikasyon:
- · Paggiling sa likurang bahagi ng wafer (magaspang at pino)
- · Katumpakan ng pagtadtad ng mga malutong na materyales
- · Paglalagay ng mga seramikong substrate
- · Pagpapakintab ng lente ng optika
Paggawa:
Katumpakan ng pag-lapping ng magkabilang gilid → diamond grooving (opsyonal) → edge rounding → ultrasonic cleaning → 100% flatness inspection gamit ang laser interferometer.
Amga benepisyo:
- · Binabawasan ng matibay na suporta ang pagpapalihis sa ilalim ng bigat
- · Walang pagbuo ng particle mula sa porous na istraktura
- · Madaling linisin (tugma sa solvent-wipe)
- · Mga uka na maaaring i-customize gamit ang vacuum (concentric, radial, custom patterns)
Mga Magagamit na Sukat:
Bilog: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; parisukat/parihaba kapag hiniling.
Nag-aalok din kami ng mga bersyong gawa sa metal para sa mas mataas na mekanikal na lakas.
