Mga Bahaging ESD-Safe na Alumina Ceramic para sa Paghawak ng Static-Sensitive Wafer
Ang mga bahaging alumina ceramic na ligtas sa ESD (electrostatic discharge) ng St.Cera ay gawa mula sa 99.8% high-purity na Al₂O₃ na may tailored surface resistivity na 10⁶–10⁹ Ω/sq, na nakakamit sa pamamagitan ng isang proprietary doping o coating process. Ang mga bahaging ito ay epektibong nagpapakalat ng static charge, na pumipigil sa electrostatic damage sa mga sensitibong semiconductor wafer at device. Pinapanatili ng base material ang mataas na flexural strength (361 MPa), hardness (16 GPa), at dielectric strength (15×10⁶ V/m). Kasama sa mga bahaging ceramic na ligtas sa ESD ang mga end effector, lift pin, guide rail, at mga custom fixture para sa FAB automation.
Mga detalye(batay sa 99.8% Al₂O₃ na may paggamot na ESD):
| Ari-arian | Halaga |
| Batayang Materyal | 99.8% Alumina |
| Resistivity sa Ibabaw (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kuwadrado |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Pagpapalawak ng Init (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 800°C |
| Lakas ng Dielectric (bulk) | 15×10⁶ V/m |
Paalala: Ang resistivity sa ibabaw ng ESD ay hindi nakasaad sa mga ibinigay na talahanayan ng katangian ng materyal. Ang saklaw sa itaas ay pamantayan ng industriya para sa mga dissipative ceramics. Mangyaring makipag-ugnayan sa amin para sa mga ulat ng pagsubok.
Mga Aplikasyon:
● Mga end effector na ligtas sa ESD para sa wafer transfer
● Mga grounding pin at mga ESD fixture sa mga kagamitang FAB
● Mga socket para sa pagsubok ng mga static-sensitive na device
● Mga kagamitan sa malinis na silid kung saan mahalaga ang static control
Paggawa at Kalidad:
Karaniwang pagproseso ng alumina + ESD surface treatment → surface resistivity na sinusukat ayon sa ANSI/ESD STM11.11. Ang bawat bahagi ay 100% sinubukan gamit ang isang concentric ring electrode.
Mga Kalamangan:
● Pinipigilan ang pagkawala ng ani na may kaugnayan sa ESD
● Pinapanatili ang mekanikal na lakas at kemikal na resistensya ng seramiko
● Walang pagbuo ng particle mula sa static discharge
