Ceramic Supporting Pin para sa mga Fixture ng Proseso ng Semiconductor
Ang mga ceramic supporting pin ng St.Cera (kilala rin bilang lift pin o support pin) ay ginagamit sa mga semiconductor process chamber upang itaas ang mga wafer o substrate habang hinahawakan, pinapainit, o pinapalamig. Ginawa mula sa 99.8% alumina o silicon nitride, ang mga pin na ito ay nag-aalok ng mataas na compressive strength, thermal stability, at chemical resistance. Ang hemispherical o flat tip design ay pumipigil sa pagkamot ng wafer.
Mga detalye(Alumina 99.8%):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Al₂O₃ o Si₃N₄ |
| Haba | 10 – 100 milimetro |
| Diyametro | 1 – 10 milimetro |
| Hugis ng Dulo | Patag, hemispherical, matulis |
| Lakas ng Kompresibo (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon (Al₂O₃) | 1600°C |
| Tapos na Ibabaw | Naka-lapped (Ra ≤0.4 μm) |
| Tolerance sa Diameter | ±0.01 mm |
Mga Aplikasyon:
Mga pin na pang-angat sa mga silid ng CVD/PVD
Mga pin na pansuporta para sa pagbe-bake sa hotplate
Mga istrukturang sumusuporta sa probe card
Mga suporta sa bangka ng quartz furnace
Paggawa:
Precision centerless grinding ng OD → diamond grinding ng tip profile → ultrasonic cleaning → 100% dimensional na inspeksyon.
Kontrol sa Kalidad:
CMM para sa haba/diametro, optical comparator para sa tip radius, load testing upang beripikahin ang compressive strength (random sample bawat lot). Walang ferromagnetic contamination (na-verify gamit ang magnet).
Mga Kalamangan kumpara sa Metal o Quartz Pins:
5 beses na mas mahabang buhay kaysa sa hindi kinakalawang na asero
Walang kontaminasyon ng metal sa silid ng proseso
Mas mataas na kakayahan sa temperatura kaysa sa quartz (1600°C vs 1100°C)
Hindi dumidikit na ibabaw (nabawasan ang pagdikit ng particle)
Pagpapasadya:
Maramihang mga profile ng dulo, may sinulid na base, o tapered shaft.
Nagbibigay din kami ng mga SiC pin para sa mga matinding kapaligirang plasma.
