Singsing na Selyo na may Mataas na Kadalisayan na Alumina Ceramic para sa Pagbubuklod ng Silid na may Mataas na Temperatura
Ang ceramic seal ring ng St.Cera ay dinisenyo bilang alternatibo sa polymer O-rings sa matinding kapaligiran kung saan nasisira ang mga elastomer. Ginawa mula sa 99.8% high-purity alumina (Al₂O₃), ang matibay na seal ring na ito ay ginagamit sa mga aplikasyon ng static sealing — karaniwang ipinapares sa isang malambot na metal o graphite gasket — upang magbigay ng maaasahang vacuum o gas containment sa mga temperaturang hanggang 800°C at sa agresibong plasma o kemikal na kapaligiran. Ang materyal ay nag-aalok ng zero outgassing, mataas na compressive strength (pinagbabatayang flexural strength 361 MPa), at chemical inertness (lumalaban sa mga halogen, acid, at alkali maliban sa HF). Ang mga precision-lapped sealing surface (flatness ≤5 μm, surface roughness Ra ≤0.2 μm) ay nagsisiguro na hindi tumatagas ang kontak sa mga kaparehong metal o ceramic component.
Mga detalye(batay sa 99.8% Al₂O₃):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Pagsipsip ng Tubig | 0% |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Lakas ng Kompresibo (tinatayang) | >2000 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Pagpapalawak ng Init (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 800°C (hangin), 1600°C (hindi gumagalaw) |
| Tapos na Pang-ibabaw (mukha ng pagbubuklod) | Ra ≤0.2 μm (na-lapped) |
| Pagkapatas (bawat 25 mm) | ≤5 µm |
| Bilis ng Pagtagas ng Helium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (na may angkop na gasket) |
Mga Aplikasyon:
- · Mga static seal ng semiconductor process chamber (CVD, PVD, etch)
- · Mga selyo ng pinto ng pugon na pang-mataas na temperatura
- · Mga flange na may vacuum feedthrough
- · Pagsasara ng mga sisidlan ng reaktor ng kemikal
Proseso ng Paggawa:
Isostatic pressing → sintering sa 1600°C → precision double-side lapping upang makamit ang ultra-flat at makinis na mga sealing face → edge chamfering → ultrasonic cleaning. Ang bawat singsing ay 100% leak-tested sa isang helium leak detector na may karaniwang metal gasket.
Kontrol sa Kalidad:
- · Pagsusuri sa dimensyon ng CMM (ID, OD, kapal, paralelismo)
- · Surface profilometer para sa Ra at waviness
- · Pagsukat ng kapatagan gamit ang optical flat
- · Pagsubok sa tagas ng helium (paraan ng back-pressurization)
Mga Kalamangan kumpara sa Polymer O-rings:
- · Lumalaban sa 800°C kumpara sa <300°C para sa FFKM
- · Walang outgassing — walang kontaminasyon ng vacuum environment
- · Lumalaban sa lahat ng kemikal na kemikal ng plasma (fluorine, chlorine, oxygen)
- · Walang compression set o permanenteng deformation
- · Walang limitasyong buhay ng serbisyo sa malinis na kapaligiran
Mga Limitasyon (Mga Kritikal na Paalala):
- · Hindi isang O-ring— ito ay isang matibay na singsing na seramiko na nangangailangan ng malambot na gasket (tanso, aluminyo, o grapayt) upang maisara.
- · Hindi tumatanggap ng pabago-bagong galaw o malaking maling pagkakahanay ng flange.
- · Mas mataas ang paunang gastos kaysa sa mga polymer O-ring, ngunit mas matagal ang buhay nito ay nakakabawas sa gastos ng pagmamay-ari.
- · Malutong — hawakan nang may pag-iingat; iwasan ang pagtama sa punto o stress sa pagbaluktot.
Paalala:Ang datos sa itaas ay mahigpit na sumusunod sa ibinigay na talahanayan ng katangian ng Al₂O₃. Walang ibinigay na datos para sa mga materyales na elastomeric. Ang produktong ito ay isang static seal ring, hindi isang elastomeric O-ring. Pakikumpirma kung natutugunan nito ang mga kinakailangan ng iyong aplikasyon.
