Mataas na Kadalisayan na Alumina Ceramic Core para sa mga Fixture ng Semiconductor
Ang alumina ceramic core ng St.Cera ay may katumpakan na nabuo mula sa 99.8% high-purity na Al₂O₃, na nag-aalok ng pambihirang dielectric strength (15×10⁶ V/m), thermal stability hanggang 1600°C, at creep resistance sa ilalim ng load. Ang mga core na ito ay ginagamit bilang mga bahaging istruktural sa mga high-temperature process fixture, heater base, plasma chamber liner, at electrical insulator. Ang mataas na katigasan (16 GPa) at mababang water absorption (0%) ng materyal ay nagsisiguro ng pangmatagalang pagiging maaasahan sa malupit na kapaligiran.
Mga detalye(batay sa 99.8% Al₂O₃):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Bali | 3–4 MPa·m¹/² |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Konduktibidad ng Termal | 32 W/m·k |
| Pagpapalawak ng Init (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Lakas ng Dielektriko | 15×10⁶ V/m |
| Tiyak na Paglaban | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 1600°C |
Mga Aplikasyon:
- · Pangunahing pampainit para sa mga epitaxial reactor
- · Liner at mga takip na plato para sa plasma chamber
- · Mga insulator na de-kuryenteng may mataas na boltahe
- · Base ng fixture para sa mga robot na humahawak ng wafer
Paggawa:
Isostatic pressing → green machining → sintering sa 1600°C → CNC grinding hanggang sa pinal na dimensyon (±0.01 mm tolerance). Ang bawat core ay sinisiyasat sa pamamagitan ng CMM at ultrasonic flaw detection.
Pagtitiyak ng Kalidad:
Sertipikado ng ISO 9001:2015. Pagsubok sa penetrant ng tina para sa mga bitak sa ibabaw; pagsubok sa lakas ng dielectric ayon sa ASTM D149.
AMga kalamangan kumpara sa ibang mga seramiko:
- · Mas mataas na lakas ng dielectric kaysa sa zirconia (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Mas mababang gastos kaysa sa SiC para sa mga aplikasyon na hindi plasma
- · Napakahusay na resistensya sa kemikal sa mga halogen (maliban sa HF)
Mga Pasadyang Hugis:
Mga silindro, parisukat na bar, plato, o kumplikadong heometriya. Minimum na laki ng katangian na 0.5 mm.
Makipag-ugnayan sa amin para sa mga pasadyang disenyo ng core at suporta sa thermal simulation.
