Silicon Carbide (SiC) Ceramic End Effector – Mataas na Katatagan para sa Paghawak ng Wafer na May Mataas na Temperatura
Ang SiC ceramic end effector ng St.Cera ay gawa mula sa high-purity silicon carbide (SiC content 99.72%, free Si 0.05%) gamit ang S1111 batch material. Nag-aalok ito ng mga natatanging mekanikal na katangian: flexural strength 449 MPa (sinukat), elastic modulus 457 GPa (sinukat), at Vickers hardness 25–28 GPa (tipikal). Ang mababang density (3.10–3.15 g/cm³, tipikal) ay nagbibigay ng mataas na specific stiffness, mainam para sa mga high-speed wafer transfer robot. Dahil sa thermal conductivity na 120–150 W/m·K (tipikal) at thermal expansion coefficient na 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipikal), epektibong pinapawi ng end effector na ito ang init at pinapanatili ang dimensional stability sa panahon ng high-temperature handling (hanggang 1600–1700°C, walang load). Tinitiyak ng kulay itim/kulay abo at zero water absorption ang pagiging tugma sa cleanroom.
Mga detalye(batay sa ibinigay na ulat ng pagsubok ng SiC S1111 at mga karaniwang halaga)):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | SiC (99.72% SiC, 0.05% Libreng Si) |
| Kulay | Itim/Abo |
| Densidad | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Pagsipsip ng Tubig | 0% |
| Lakas ng Pagbaluktot | 449 MPa (karaniwan) |
| Katigasan ng Bali | 3.12 MPa·m¹/² (karaniwan) |
| Elastikong Modulus | 457 GPa |
| Katigasan ng Vickers | 25–28 GPa |
| Konduktibidad ng Termal (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Pinakamataas na Temperatura ng Paggamit (walang karga) | 1600–1700°C |
Mga Aplikasyon:
● Paghawak ng wafer sa mataas na temperatura (post-anneal, RTP, epitaxy)
● Mga silid na may plasma etch na nangangailangan ng mataas na resistensya sa erosyon
● Mga robot na pang-transfer na may mataas na bilis (magaan, mataas ang tibay)
Paggawa:
SiC powder sintering → katumpakan ng CNC grinding ng arm profile at mga tampok ng pagkakabit → surface lapping → ultrasonic cleaning. 100% dimensional na inspeksyon at helium leak test para sa mga aplikasyon sa vacuum.
Kontrol sa Kalidad:
● Inspeksyon ng CMM sa haba, lapad, at kapal
● Pagsubok sa lakas ng pagbaluktot bawat batch (ayon sa pamantayan ng ulat ng pagsubok)
● Biswal na inspeksyon sa ilalim ng mikroskopyo para sa mga depekto sa ibabaw
Mga Kalamangan kumpara sa Alumina o Metal:
● 2× mas mataas na elastic modulus (457 vs ~380 GPa para sa alumina) – mas kaunting deflection
● 3× mas mataas na thermal conductivity – mas mabilis na pagwawaldas ng init
● Nakakatagal sa temperaturang >1600°C kumpara sa 800°C ng alumina sa hangin
● Mas mababang densidad kaysa sa bakal – 40% na pagbawas ng timbang
Pagpapasadya:
Haba 150–450 mm, hugis ng dulo (gilid na pagkakahawak, Bernoulli, patag), mga pattern ng mounting flange ayon sa OEM drawing.
*Lahat ng mekanikal na datos sa itaas ay nagmula sa ibinigay na ulat ng pagsubok (batch S1111). Ang mga halaga ng thermal at katigasan ay karaniwan para sa gradong SiC na ito; mangyaring makipag-ugnayan sa amin para sa sertipikasyon na partikular sa lote.*
