Mataas na Kadalisayan na Alumina Ceramic Robot Arm para sa Paghawak ng Wafer
Ang alumina ceramic robot arm ng St.Cera ay ginawa gamit ang precision engineered na materyales mula sa 99.8% high-purity Al₂O₃ (alumina). Pinagsasama nito ang pambihirang flexural strength (361 MPa), mataas na tigas (16 GPa), at mababang density (3.93 g/cm³), na nagreresulta sa isang magaan ngunit matibay na braso para sa semiconductor wafer transfer. Ang thermal expansion coefficient ng materyal (7.2×10⁻⁶/°C) ay halos kapareho ng silicon, na nagpapaliit sa thermal mismatch habang pinoproseso.
Mga detalye (batay sa 99.8% Al₂O₃):
| Ari-arian | Halaga |
| Kulay | Garing |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Modulus ni Young | 380 GPa |
| Konduktibidad ng Termal | 32 W/m·k |
| Pagpapalawak ng Init | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Lakas ng Dielektriko | 15×10⁶ V/m |
Mga Aplikasyon:
- Mga robot na naglilipat ng vacuum wafer (200mm/300mm)
- Mga sistema ng paghawak sa atmospera
- Mga braso ng end effector para sa FAB automation
Proseso ng Paggawa:
Isostatic pressing → green machining → sintering sa 1600°C → CNC precision grinding → ultrasonic cleaning → Class 100 cleanroom packaging. Ang bawat braso ay 100% siniyasat ng CMM para sa patag (±0.01 mm) at surface roughness (Ra ≤0.4 μm).
Kontrol sa Kalidad:
Ang St.Cera ay sertipikado ng ISO 9001:2015. Nagsasagawa kami ng dye penetrant testing para sa mga micro-crack, three-point bending para sa flexural strength, at dielectric strength test ayon sa ASTM D149.
Mga Kalamangan kumpara sa mga Metal Arms:
- 50% mas magaan kaysa sa hindi kinakalawang na asero
- Walang galvanic corrosion
- Mas mababang pagbuo ng partikulo (≤0.05 partikulo/cm²)
- May magagamit na patong na ligtas sa ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Pagpapasadya:
Mga haba mula 150mm hanggang 450mm, mga hugis ng dulo (gilid ng grip, Bernoulli, vacuum), at mga pattern ng mounting flange ayon sa mga drawing ng OEM. Mga prototype sa loob ng 2 linggo.
Para sa maramihang order, mangyaring humingi ng quotation.
