Malaking-Format na Alumina Ceramic Plate para sa Semiconductor at Industrial Fixtures
Ang St.Cera ay gumagawa ng malalaking-format na ceramic plate mula sa 99.8% high-purity alumina (Al₂O₃) na may pinakamataas na sukat na hanggang 1500mm ang haba at 600mm ang lapad. Ang aming kakayahan sa precision grinding ay nakakamit ng flatness na 0.003mm sa 100mm at parallelism na 0.002mm, na tinitiyak ang pare-parehong kalidad ng ibabaw para sa mga aplikasyon sa malalaking lugar. Ang kapal ay hanggang 100mm, ang surface finish ay hanggang Ra0.1. Ang mga plate na ito ay nagsisilbing vacuum chuck bases, heater platens, electrical insulation panels, at process chamber floors sa semiconductor, display, at photovoltaic manufacturing. May mga through-hole, counterbores, at edge profiling.
Mga detalye (batay sa 99.8% Al₂O₃& mga kakayahan sa pagmamanupaktura ng St.Cera):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Lakas ng Dielektriko | 15×10⁶ V/m |
| Pinakamataas na Haba | 1500mm |
| Pinakamataas na Lapad | 600mm |
| Pinakamataas na Kapal | 100mm |
| Pagkapatas (bawat 100mm) | 0.003mm |
| Paralelismo | 0.002mm |
| Tapos na Ibabaw | Ra0.1 (pinahiran/pinakintab) |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 1600°C |
Mga Aplikasyon:
- · Mga base plate na pang-vacuum chuck para sa malalaking wafer at panel
- · Mga heater platen para sa kagamitan sa pagproseso ng init
- · Mga panel ng insulasyon ng kuryente sa mga sistemang may mataas na boltahe
- · Mga sahig ng silid ng proseso at mga plato ng liner
Katumpakan ng Paggawa:
Tuwid: 0.005mm, perpendikularidad: 0.005mm, napatunayan gamit ang laser interferometer.
Mga Kalamangan kumpara sa mga Metal Plate:
- · Walang kontaminasyong metaliko – mahalaga para sa mga prosesong semiconductor
- · Walang outgassing – mainam para sa mga vacuum na kapaligiran
- · Napakahusay na resistensya sa pagkasira at kemikal
Pagpapasadya:
May mga pasadyang disenyo ng butas, mga profile ng gilid, mga ibabaw na may hagdan, at mga lugar na may metal na pagkakabit.
