Singsing ng Insulasyon na PVD na Alumina para sa mga Pisikal na Sistema ng Pagdeposito ng Singaw
Ang PVD insulation ring ng St.Cera ay gawa mula sa 99.8% high-purity alumina (Al₂O₃) para gamitin sa mga physical vapor deposition (PVD) system. Ang ring ay nagbibigay ng electrical isolation sa pagitan ng mga bahagi ng chamber, na pumipigil sa arcing at tinitiyak ang matatag na operasyon ng plasma. Kabilang sa mga pangunahing katangian ang mataas na dielectric strength (15×10⁶ V/m), specific resistance >10¹⁴ Ω·mm²/m, at thermal stability hanggang 1600°C. Nakakamit ng aming precision machining capabilities ang outer diameters hanggang 600mm, inner diameters hanggang 0.2mm, flatness na 0.003mm, at surface finish na Ra0.1. Tinitiyak ng zero porosity at chemical inertness ng ring ang pangmatagalang reliability sa mga agresibong sputtering environment.
Mga detalye (batay sa 99.8% Al₂O₃& mga kakayahan sa pagmamanupaktura ng St.Cera):
| Ari-arian | Halaga |
| Materyal | 99.8% Alumina (Garing) |
| Densidad | 3.93 g/cm³ |
| Lakas ng Pagbaluktot | 361 MPa |
| Katigasan ng Vickers | 16 GPa |
| Lakas ng Dielektriko | 15×10⁶ V/m |
| Tiyak na Paglaban | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Pinakamataas na Panlabas na Diametro | 600mm |
| Pinakamababang Panloob na Diyametro | 0.2mm |
| Pinakamataas na Kapal | 100mm |
| Pagkapatag | 0.003mm |
| Paralelismo | 0.002mm |
| Tapos na Ibabaw | Ra0.1 |
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | 1600°C |
Mga Aplikasyon:
- · Mga insulator ng target backing plate sa mga sistemang PVD
- · Mga insulator ng feedthrough ng silid
- · Mga insulator na may shield ring sa mga sistema ng sputtering
- · Mataas na boltaheng paghihiwalay sa mga silid ng plasma
Katumpakan ng Paggawa:
Konsentrisibilidad: 0.01mm, bilog: 0.002mm, tuwid: 0.005mm, perpendikular: 0.005mm, napatunayan ng CMM.
AMga kalamangan kumpara sa mga Polymer Insulator:
- · Nakakayanan ang 1600°C kumpara sa limitasyon ng polimer na <300°C
- · Walang outgassing – pinapanatili ang integridad ng vacuum
- · Lumalaban sa pagguho ng plasma at pag-atake ng kemikal
Pagpapasadya:
May mga pasadyang cross-section, mounting feature, step profile, at maraming concentric ring design na magagamit.
